Технология полупроводникового кремния
Год выпуска: 1992
Автор: Фалькевич Э.С, Пульнер Э.О., Червоный И.Ф
Жанр: Профессиональный справочник
Издательство: Металлургия
ISBN: 5-229-00740-0
Формат: DjVu
Язык: Русский
Качество: Отсканированные страницы
Количество страниц: 408
Описание: Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве.
Доп. информация: Рецензент: проф. докт. хим. наук В.Б. Уфимцев.
Взято здесь
